隨著市場環(huán)境的優(yōu)化升級和國家政策的有利驅(qū)動，新能源汽車、智能駕駛、智能終端和5G等行業(yè)對集成電路的需求激增。而作為典型的高精尖產(chǎn)業(yè)，集成電路的制造對生產(chǎn)環(huán)境和工藝的要求極為苛刻。其中，潔凈室的建設(shè)是集成電路制造中的關(guān)鍵環(huán)節(jié)，對最終產(chǎn)品的性能具有至關(guān)重要的影響。

　　作為我國早專業(yè)從事潔凈室機電設(shè)備安裝的工程公司之一，中國電子系統(tǒng)工程第四建設(shè)有限公司（以下簡稱“中電四公司”）可為集成電路制造企業(yè)提供設(shè)計、采購、項目管理、施工、設(shè)施管理、潔凈室配套產(chǎn)品制造等一體化“交鑰匙”工程服務(wù)。

　　2021年，在為北京集電控股有限公司（以下簡稱“北京集電”）建設(shè)集成電路車間潔凈室項目中，中電四公司為滿足客戶對環(huán)境監(jiān)測的高精度和高穩(wěn)定性要求，選擇與維薩拉合作，將工業(yè)用溫濕度變送器HMT330、本質(zhì)安全型溫濕度變送器HMT370EX和溫濕度變送器HMT120等系列產(chǎn)品，成功應(yīng)用于北京集電廠房潔凈室。自應(yīng)用以來，相關(guān)儀表和變送器運行穩(wěn)定，測量準(zhǔn)確。

　　纖毫必顯打造高標(biāo)準(zhǔn)的潔凈車間：

　　穿戴嚴(yán)密封閉的特制護服和鞋套，經(jīng)過嚴(yán)格的車間消殺流程，再通過數(shù)道相互獨立隔離的車間閘門，操作員方能進(jìn)入標(biāo)準(zhǔn)嚴(yán)苛的集成電路廠房潔凈室。不同于一般工業(yè)品，集成電路從單晶硅片制造到IC制造再到IC封裝的重要步驟，均需在潔凈室中完成。無論是微小的粉塵和碎屑，還是無形的環(huán)境溫度和濕度等，都將對制造過程產(chǎn)生重大影響。

　　“集成電路的制造對生產(chǎn)環(huán)境的要求非常高，需要對溫度、濕度等參數(shù)進(jìn)行極為精確、穩(wěn)定的測量，從而確保生產(chǎn)環(huán)境的穩(wěn)定可靠?！敝须娝墓臼袌龉芾碇行目偨?jīng)理張琪表示，“2020年，早在北京集電潔凈室項目的投標(biāo)階段，我們知道維薩拉的相關(guān)產(chǎn)品可滿足客戶對溫濕度測量的苛刻需求。于是，我們決定采用維薩拉產(chǎn)品作為測量儀表進(jìn)行投標(biāo)，由此也開啟了與維薩拉一系列的深度合作?！?/p>

　　隨著我國集成電路制造工藝的升級，其制造過程需要的潔凈程度也水漲船高，這對于潔凈室的建設(shè)提出了越來越高的要求。據(jù)介紹，北京集電所制造的集成電路工藝目前已突破28納米，對應(yīng)的潔凈室環(huán)境溫度誤差為±0.3°C，濕度誤差為±3%。一旦溫度和濕度突破限定誤差，將顯著影響產(chǎn)品的良品率、使用性能和可靠性。

　　針對上述應(yīng)用環(huán)境，維薩拉的多款產(chǎn)品如HMT330、HMT120和HMT370EX在其中扮演重要角色。其中，HMT330可在惡劣環(huán)境中和苛刻需求下實現(xiàn)精準(zhǔn)測量，還可針對不同的應(yīng)用環(huán)境實現(xiàn)定制，從而滿足多樣的客戶需求。而HMT120則是一款專為潔凈室等環(huán)境打造的溫濕度變送器，智能測量探頭可現(xiàn)場更換，輕松實現(xiàn)測量的可追溯性。